VMS, таксама вядомы якСістэма відэавымярэння, выкарыстоўваецца для вымярэння памераў вырабаў і форм. Да элементаў вымярэнняў адносяцца дакладнасць размяшчэння, канцэнтрычнасць, прамалінейнасць, профіль, акругласць і памеры, звязаныя з эталонамі. Ніжэй мы падзелімся метадам вымярэння вышыні нарыхтоўкі і памылкамі вымярэння з дапамогай аўтаматычных відэавымяральных машын.
Метады аўтаматычнага вымярэння вышыні загатоўківідэавымяральныя машыны:
Вымярэнне вышыні кантактнага зонда: усталюйце зонд на восі Z для вымярэння вышыні нарыхтоўкі з дапамогай кантактнага зонда (аднак гэты метад патрабуе дадання функцыянальнага модуля зонда ў 2dПраграму для вымярэння выявы). Памылку вымярэння можна кантраляваць у межах 5 мкм.
Бескантактнае лазернае вымярэнне вышыні: усталюйце лазер на восі Z, каб вымераць вышыню загатоўкі з дапамогай бескантактавага лазернага вымярэння (гэты метад таксама патрабуе дадання лазернага функцыянальнага модуля ў праграмнае забеспячэнне інструмента для вымярэння 2D-малюнка). Памылку вымярэння можна кантраляваць у межах 5 мкм.
Метад вымярэння росту на аснове выявы: дадайце модуль вымярэння росту ўVMMпраграмнае забеспячэнне, адрэгуляваць фокус, каб удакладніць адну плоскасць, затым знайсці іншую плоскасць, і розніца паміж дзвюма плоскасцямі - гэта вышыня, якую трэба вымераць. Сістэмную памылку можна кантраляваць у межах 6 мкм.
Хібнасці вымярэння аўтаматычных відэавымяральных машын:
Прынцыповыя памылкі:
Да асноўных памылак відэавымяральных машын адносяцца памылкі, выкліканыя скажэннем ПЗС-камеры, і памылкі, выкліканыя рознымі прычынаміметады вымярэння. З-за такіх фактараў, як вытворчасць камеры і працэсы, узнікаюць памылкі ў праламленні падаючага святла, якое праходзіць праз розныя лінзы, і памылкі ў становішчы кропкавай матрыцы CCD, што прыводзіць да розных тыпаў геаметрычных скажэнняў у аптычнай сістэме.
Розныя метады апрацоўкі малюнкаў прыносяць памылкі распазнавання і квантавання. Вылучэнне краёў важна пры апрацоўцы малюнкаў, бо адлюстроўвае контуры аб'ектаў або мяжу паміж рознымі паверхнямі аб'ектаў на малюнку.
Розныя метады вылучэння краёў пры апрацоўцы лічбавых відарысаў могуць выклікаць значныя варыяцыі ў адным і тым жа вымераным становішчы краю, што паўплывае на вынікі вымярэння. Такім чынам, алгарытм апрацоўкі відарысаў аказвае істотны ўплыў на дакладнасць вымярэнняў прыбора, што з'яўляецца галоўнай праблемай пры вымярэнні відарысаў.
Вытворчыя памылкі:
Вытворчыя памылкі відэавымяральных машын ўключаюць у сябе памылкі, выкліканыя накіроўвалымі механізмамі, і памылкі ўстаноўкі. Асноўная памылка, якую стварае механізм навядзення для відэавымяральных машын, - гэта памылка пазіцыянавання лінейнага руху механізму.
Відэавымяральныя машыны артаганальныякаардынатныя вымяральныя прыборыз трыма ўзаемна перпендыкулярнымі восямі (X, Y, Z). Знізіць уплыў такіх памылак могуць якасныя механізмы навядзення руху. Калі прадукцыйнасць нівеліравання вымяральнай платформы і ўстаноўкі ПЗС-камеры выдатныя, а іх вуглы знаходзяцца ў зададзеным дыяпазоне, гэтая памылка вельмі малая.
Аперацыйныя памылкі:
Эксплуатацыйныя памылкі відэавымяральных машын уключаюць памылкі, выкліканыя зменамі асяроддзя і ўмоў вымярэння (напрыклад, змены тэмпературы, ваганні напружання, змены ўмоў асвятлення, знос механізмаў і г.д.), а таксама дынамічныя памылкі.
Змены тэмпературы выклікаюць змены памераў, формы, размяшчэння, а таксама важныя характарыстыкі кампанентаў відэавымяральных машын, што ўплывае на дакладнасць прыбора.
Змены напружання і ўмоў асвятлення будуць уплываць на яркасць верхніх і ніжніх крыніц святла відэавымяральнай машыны, што прывядзе да нераўнамернага асвятлення сістэмы і памылак пры вылучэнні краёў з-за ценяў, якія застаюцца па краях зробленых відарысаў. Знос выклікае памылкі ў памерах, форме і размяшчэнні дэталяўвідэавымяральная машына, павялічвае зазоры і зніжае стабільнасць дакладнасці працы прыбора. Такім чынам, паляпшэнне ўмоў працы вымярэнняў можа эфектыўна паменшыць уплыў такіх памылак.
Час публікацыі: 8 красавіка 2024 г
