VMS, таксама вядомы якСістэма відэавымярэння, выкарыстоўваецца для вымярэння памераў вырабаў і формаў. Да элементаў вымярэння адносяцца дакладнасць размяшчэння, канцэнтрычнасць, прамалінейнасць, профіль, кругласць і памеры, звязаныя з эталонамі. Ніжэй мы разгледзім метад вымярэння вышыні нарыхтоўкі і памылак вымярэння з дапамогай аўтаматычных відэавымяральных машын.
Метады вымярэння вышыні дэталі з дапамогай аўтаматычнагавідэавымяральныя машыны:
Вымярэнне вышыні кантактным зондам: усталюйце зонд на восі Z для вымярэння вышыні дэталі з дапамогай кантактнага зонда (аднак гэты метад патрабуе дадання функцыянальнага модуля зонда ў 2Dпраграмнае забеспячэнне для вымярэння выявыПамылка вымярэння можа кантралявацца ў межах 5 мкм.
Бескантактавае лазернае вымярэнне вышыні: усталюйце лазер на восі Z для вымярэння вышыні дэталі з дапамогай бескантактавага лазернага вымярэння (гэты метад таксама патрабуе дадання лазернага функцыянальнага модуля ў праграмнае забеспячэнне прыбора для вымярэння 2D-выявы). Памылка вымярэння можа кантралявацца ў межах 5 мкм.
Метад вымярэння вышыні на аснове выявы: дадайце модуль вымярэння вышыні ўВММпраграмнае забеспячэнне, адрэгулюйце фокус, каб высветліць адну плоскасць, затым знайдзіце іншую плоскасць, і розніца паміж двума плоскасцямі - гэта вышыня, якую трэба вымераць. Памылка сістэмы можа кантралявацца ў межах 6 мкм.
Памылкі вымярэнняў аўтаматычных відэавымяральных машын:
Прынцыповыя памылкі:
Да асноўных памылак відэавымяральных машын адносяцца памылкі, выкліканыя скажэннямі CCD-камеры, і памылкі, выкліканыя розныміметады вымярэнняЗ-за такіх фактараў, як вытворчасць і працэсы камеры, узнікаюць памылкі ў праламленні падаючага святла, якое праходзіць праз розныя лінзы, і памылкі ў размяшчэнні кропкавай матрыцы CCD, што прыводзіць да розных тыпаў геаметрычных скажэнняў у аптычнай сістэме.
Розныя метады апрацоўкі малюнкаў прыводзяць да памылак распазнавання і квантавання. Вылучэнне краёў важна пры апрацоўцы малюнкаў, бо яно адлюстроўвае контур аб'ектаў або мяжу паміж рознымі паверхнямі аб'ектаў на малюнку.
Розныя метады вылучэння краёў пры лічбавай апрацоўцы малюнкаў могуць выклікаць значныя адрозненні ў адным і тым жа вымераным становішчы краю, што ўплывае на вынікі вымярэнняў. Такім чынам, алгарытм апрацоўкі малюнкаў аказвае істотны ўплыў на дакладнасць вымярэнняў прыбора, што з'яўляецца цэнтральным момантам пры вымярэнні малюнкаў.
Памылкі вытворчасці:
Вытворчыя памылкі відэавымяральных машын ўключаюць памылкі, выкліканыя накіроўвальнымі механізмамі, і памылкі ўстаноўкі. Асноўнай памылкай, якая ствараецца накіроўвальным механізмам відэавымяральных машын, з'яўляецца памылка лінейнага пазіцыянавання механізму.
Відэавымяральныя машыны артаганальныякаардынатна-вымяральныя прыборыз трыма ўзаемна перпендыкулярнымі восямі (X, Y, Z). Высокаякасныя механізмы кіравання рухам могуць паменшыць уплыў такіх памылак. Калі эфектыўнасць нівеліравання вымяральнай платформы і ўстаноўка CCD-камеры выдатныя, а іх вуглы знаходзяцца ў зададзеным дыяпазоне, гэтая памылка вельмі малая.
Аперацыйныя памылкі:
Да аперацыйных памылак відэавымяральных машын адносяцца памылкі, выкліканыя зменамі асяроддзя і ўмоў вымярэння (напрыклад, змены тэмпературы, ваганні напружання, змены ўмоў асвятлення, знос механізмаў і г.д.), а таксама дынамічныя памылкі.
Змены тэмпературы выклікаюць змены памераў, формы, размяшчэння і змены важных характарыстык кампанентаў відэавымяральных машын, тым самым уплываючы на дакладнасць прыбора.
Змены напружання і ўмоў асвятлення ўплываюць на яркасць верхняй і ніжняй крыніц святла відэавымяральнай машыны, што прыводзіць да нераўнамернага асвятлення сістэмы і выклікае памылкі ў вылучэнні краёў з-за ценяў, якія застаюцца на краях захопленых малюнкаў. Знос выклікае памылкі памераў, формы і становішча ў дэталяхвідэавымяральная машына, павялічвае зазоры і зніжае стабільнасць дакладнасці працы прыбора. Такім чынам, паляпшэнне ўмоў вымярэнняў можа эфектыўна паменшыць уплыў такіх памылак.
Час публікацыі: 08 красавіка 2024 г.
